仪器设备

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场发射扫描电子显微镜-苏州校区

【仪器型号】：

GeminiSEM560

【制造厂商】：

蔡司

【开放培训】：

已开放

【仪器状态】：

工作中

【备注信息】：

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【送样须知】 1、可测试样品状态：粉末、薄膜、块状物体等，要求样品干燥充分、无毒、无易挥发性元素、无腐蚀性，样品准备可提前咨询；
2、送样时应注明样品类型、主要成分、测试元素及要求等信息；
3、特殊样品或测试请提前咨询。
【主要技术指标】 1、二次电子图像分辨率：0.4 nm @ 15 KV，0.7 nm @ 1 KV； 2、加速电压：20 V～30 kV； 3、放大倍数：1-2,000,000； 4、能谱仪：牛津AZtecLive UltimMax170；Mn Ka保证优于127 eV（@计数率130,000 cps）；轻元素能量分辨率：F Ka保证优于64 eV（@计数率130,000 cps）；分析元素范围：Be4～Cf98; 5、电子背散射衍射仪：牛津Symmetry S3，高速低噪音CMOS相机，花样分辨率1244x1024像素；探头的采集速度5700 pps。
【仪器功能及附件】 GeminiSEM560高分辨场发射扫描电子显微镜具有超高分辨率和高稳定性，可观察样品二次电子像、成分衬度像，同时可进行X射线能谱分析、电子背散射衍射分析表征。
【仪器使用范围】 用于形貌成像，元素分析，晶体信息分析
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