仪器设备

网　址：cmais.nju.edu.cn
邮　箱：cma@nju.edu.cn
鼓楼业务室地址：南京市 北京西路11-1号 南京大学科学楼
鼓楼业务室电话：025-83592318
鼓楼业务室邮编：210093
仙林业务室地址：南大仙林校区基础实验楼甲楼102室
仙林业务室电话：025-89682318
仙林业务室邮编：210023

高真空镀膜仪-苏州校区

【仪器型号】：

Q150T ES Plus

【制造厂商】：

Quorum

【开放培训】：

已开放

【仪器状态】：

工作中

【备注信息】：

  • 基本信息
  • 留言评论
【送样须知】 1、可测试样品状态：固体、薄膜等，样品大小：一般高度不超过10mm，样品准备可提前咨询；
2、送样时应注明镀膜成分和厚度等信息；
3、特殊测试请提前咨询。
【主要技术指标】 1、采用带涡轮分子泵抽真空，真空度优于5×10-5mbar，满足扫描电镜、透射电镜等各类镀膜需求； 2、采用电容式触摸屏，灵敏度高，更易触控使用； 3、采用可互换的插入头，能够同时满足斜面碳棒镀碳功能以及各类金属镀膜； 4、采用可拆卸腔室，设有防爆罩，可满足不同类型样品镀膜需求； 5、镀膜腔体尺寸：150mm; 6、配备膜厚监控器，可以控制镀膜厚度； 7、配备常用碳棒、Cr靶、金靶及Pt靶材； 8、配备不低于16GB的闪存可储存不少于1000条常用样品镀膜方案，一键即可完成镀膜。
【仪器功能及附件】 金属镀膜（Au、Pt、Cr，其他靶材根据需求定制），蒸发镀碳
【仪器使用范围】 Quorum Q150T ES Plus超高分辨率成像专用镀膜仪采用隔膜泵加涡轮分子泵两级真空系统，最低真空可达5×10-5mbar。得益于很好的背景真空，从而可以实现超细金属颗粒镀膜，满足超高分辨成像。同样的针对镀碳需求来说，较低的散射能够实现高纯度致密的非晶碳镀膜。
2