仪器设备

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原子力显微镜-苏州校区

【仪器型号】：

Jupiter XR

【制造厂商】：

牛津

【开放培训】：

已开放

【仪器状态】：

工作中

【备注信息】：

Jupiter XR原子力显微镜能够在大气环境中直接对样品表面进行微区甚至原子尺度成像，实现对样品形貌的精确表征。此外原子力显微镜还能够精确的从纳米尺度上对材料的力学、电学、压电性能以及磁学等方面的性能进行表征。
  • 基本信息
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【送样须知】 1、可测试样品状态：可测2-8寸晶圆或10-15mm直径的薄膜或块体，要求样品表面平整、稳定、清洁，样品准备可提前咨询；2、送样时应注明样品类型、主要成分、测试模式、测试区域及其他要求；3、特殊样品测试请提前咨询。
【主要技术指标】 1、工作模式：轻敲模式、接触模式、横向力显微镜、磁力显微镜、压电力显微镜、双频共振追踪模式、矢量压电力显微镜、静电力显微镜、扫描开尔文显微镜、力曲线测试、纳米刻蚀、纳米操纵、高次谐波成像模式；2、X,Y方向的扫描范围：100μm，Z范围：12μm；3、样品台尺寸：直径200mm；最大可放置样品高度35mm；4、噪音水平（理想分辨率）：XY方向150pm，Z方向35pm；5、光学系统分辨率：1.5um。
【仪器功能及附件】 Jupiter XR原子力显微镜能够在大气环境中直接对样品表面进行微区甚至原子尺度成像，实现对样品形貌的精确表征。此外原子力显微镜还能够精确的从纳米尺度上对材料的力学、电学、压电性能以及磁学等方面的性能进行表征。
【仪器使用范围】 形貌成像，电学测试，磁学测试，力学测试，压电力成像
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