仪器设备

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聚焦离子束/电子束显微镜-苏州校区

【仪器型号】：

Thermoscientific Helios 5 CX

【制造厂商】：

赛默飞

【开放培训】：

已开放

【仪器状态】：

工作中

【备注信息】：

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【送样须知】 1、可测试样品状态：粉末、薄膜、块状物体等，要求样品干燥充分、无磁性、无毒、无F/S/I等易挥发性元素、无腐蚀性，样品准备可提前咨询；2、送样时应注明样品类型、主要成分、测试要求等信息；3、特殊样品或测试请提前咨询。
【主要技术指标】 1、离子束，电子束，气体注入系统规格： （1）离子束分辨率：≤2.5 nm@30 kV；（2）电子束分辨率：≤0.7 nm@15 kV（正常模式）；0.9 nm@1 kV（减速模式）；（3）配备以下3种可用沉积气体：W、C、Pt沉积气体；2、样品室，样品台及样品座： （1）大样品仓，仓门内径：≥370 mm；（2）五轴样品台XYZRT；X、Y方向移动范围≥110 mm，Z轴移动范围≥65 mm；样品台倾斜范围：≥-15°至+90°，连续旋转尺寸n*360°；3、探测器：（1）极靴内低位探测器（具有二次电子和背散射电子模式）；（2）样品室内传统二次电子探测器；（3）镜筒内中位电子探头；（4）镜筒内高位电子探头
【仪器功能及附件】 电子束成像，离子束成像/刻蚀，离子束诱导气体沉积；
【仪器使用范围】 电子束成像，离子束成像/刻蚀，离子束诱导气体沉积；
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