仪器设备

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X射线光电子能谱仪-苏州校区

【仪器型号】:

ESCALAB QXi

【制造厂商】:

Thermo Fisher Scientific

【开放培训】:

已开放

【仪器状态】:

工作中

【备注信息】:

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【送样须知】 1. 送样请至少提前一天电话预约;
2. 可测试样品状态:粉末、薄膜、块状物体等,要求样品干燥充分、无磁性、无毒、无单价态F/S/I等易挥发性元素、无腐蚀性,样品准备可提前咨询;
3. 送样时应注明样品类型、主要成分、测试元素及要求等信息;
4. 特殊样品或测试请提前咨询。
【主要技术指标】 1. X射线源:微聚焦单色化X射线源,Al Kα,1486.6 eV; 2. 仪器分辨率及灵敏度:最佳测试条件下,对Ag 3d5/2半高宽≤0.45 eV,灵敏度≥160 kcps; 3. 成像空间分辨率:≤3 µm(平行成像); 4. 测量深度:1-10 nm; 5. UPS测试能量分辨率(Ag 4d计数率灵敏度≥1 Mcps的前提下):Ag费米边(20%~80%)≤ 100 meV; 6. 绝缘体分析能力(PET, O-C=O的C 1s峰的半高宽@C-C/C-H的C 1s峰强度):0.68 eV@20 kcps; 7. 配备冷热台模块,可进行样品温控测试。
【仪器功能及附件】 1. ESCALAB QXi多功能X射线光电子能谱分析系统可以对粉末、薄膜或块状固体进行表面化学分析,定性识别化学元素,分析其氧化态、化学键结合状态及深度剖面等,广泛应用于材料科学、化学工程、表面物理及半导体器件等多学科领域的表征研究。 2. 支持大、小面积XPS、UPS、Depth Profiling、冷热台模块温控测试等多种测试模式。
【仪器使用范围】 1. 可测试样品状态:粉末、薄膜(建议≤ 3 mm)、块状物体(建议体积≤ 30*20*3 mm^3)等,特殊样品准备可提前咨询; 2. 检测范围: (1)可测元素:除H、He外的几乎全元素; (2)结合能范围:0-1350 eV; (3)探测深度:1-10nm; (4)支持分析元素组成、化学态、价带、功函数、深度剖析、成分分布等。
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